티탄산 바륨 강유전성 세라믹의 입자 크기 효과 전개

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Oct 15, 2023

티탄산 바륨 강유전성 세라믹의 입자 크기 효과 전개

과학 보고서 5권,

Scientific Reports 5권, 기사 번호: 9953(2015) 이 기사 인용

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다결정 강유전체의 물리적 특성에 대한 입자 크기 효과는 수십 년 동안 광범위하게 연구되어 왔습니다. 그러나 압전 및 강유전 특성이 입자 크기에 미치는 영향에 대해서는 여전히 큰 논란이 있습니다. 다양한 입자 크기를 갖는 조밀한 BaTiO3 세라믹은 마이크로 및 나노 크기 분말을 사용하는 기존 소결 또는 스파크 플라즈마 소결을 통해 제작되었습니다. 결과는 유전율에 대한 입자 크기 효과가 소결 방법 및 사용된 시작 분말과 거의 무관하다는 것을 보여줍니다. 유전율의 피크는 입자 크기가 1μm에 가까운 모든 세라믹에서 관찰되며 최대 도메인 벽 밀도 및 이동도에 기인할 수 있습니다. 압전계수 d33과 잔류 분극 Pr은 출발 분말의 입자 크기와 소결 온도에 따라 다양한 입자 크기 효과를 나타냅니다. 이는 자벽 밀도 외에도 자벽 이동도에 영향을 미치는 백 필드 및 점 결함과 같은 다른 요인이 유전체 및 압전/강유전 특성에서 관찰되는 다양한 입자 크기 의존성을 담당할 수 있음을 시사합니다. 점 결함이 주요 원인이 아닌 경우 압전 상수 d33과 잔여 분극 Pr은 입자 크기가 증가함에 따라 증가합니다.

결정 구조와 강유전체의 기능적 특성을 지배하는 입자 크기 효과를 이해하는 것은 센서, 액추에이터, 변환기 및 비휘발성 메모리와 같은 다양한 전자 장치에 내장된 강유전체 시스템의 성능을 향상시키는 데 매우 중요합니다. 2,3. 소형 장치에 대한 수요가 증가함에 따라 마이크로, 메조 및 나노 규모의 강유전성 구조 제조에 상당한 진전이 이루어졌습니다4,5. 유전체 및 강유전성 특성에 대한 입자 크기 효과에 대한 근본적인 이해는 저차원 강유전성 구조 연구를 통해 달성되었습니다. 얇은/초박막 필름6,7,8, 나노와이어9,10 및 기타 유형의 나노 차원 시스템11,12에 대한 이론 및 실험적 연구에 따르면 강유전성은 나노 규모까지 지속되므로 소형 장치에 사용할 수 있는 잠재력이 입증되었습니다. 그럼에도 불구하고 특정 응용 분야에는 특정 입자 크기에서 직접 얻을 수 있는 특정 기능적 특성을 가진 벌크 구성 요소가 필요합니다. 유전체, 압전성 및 강유전성 특성에 대한 입자 크기 영향이 여러 강유전성 벌크 시스템에서 널리 연구되었지만 여전히 불분명한 측면이 많이 있습니다. 이는 주로 압전 및 강유전 특성의 입자 크기 의존성과 관련이 있으며 기존 문헌에서 종종 불일치를 보여줍니다. 또한 입자 크기 의존성에 영향을 미칠 수 있는 다른 여러 가지 요소가 있습니다. 그들의 식별은 본 연구의 주요 목표입니다. 티탄산 바륨 세라믹은 이 연구를 위한 모델 강유전성 시스템으로 선택되었습니다.

티탄산바륨(BaTiO3)은 페로브스카이트형 구조를 갖는 대표적인 강유전성 물질이다. 유전체 커패시터 및 무연 압전 애플리케이션에 대해 널리 연구되어 높은 유전율(최대 7000)13 및 압전 상수(텍스처 세라믹에서 d33 최대 788pC/N)14 값을 모두 달성했습니다. BaTiO3 세라믹에서는 입자 크기가 유전율에 상당한 영향을 미치는 것으로 보고되었습니다13,15,16,17,18,19,20,21. BaTiO3 세라믹의 유전 상수는 평균 입자 크기가 감소함에 따라 처음으로 증가하여 ~ 0.8-1.1 μm 입자 크기 범위에서 최대값에 도달한 다음 입자 크기가 추가로 감소함에 따라 급격히 감소합니다. 20,21. 다른 강유전체22,23,24에서도 유사한 동작이 관찰되었습니다. 일반적으로 유전율의 입자 크기 의존성은 다양한 분말 가공 및 소결 방법 사용에도 불구하고 일관된 경향을 보여줍니다. 일반적으로 ~ 1 μm의 중간 입자 크기와 관련된 유전율 최대값의 물리적 기원과 관련하여 내부 잔류 응력 및 자벽 운동을 기반으로 한 두 가지 대체 이론이 지난 수십 년 동안 개발되었습니다(참고 자료 19 참조). 검토). 최근 0.32~3.5μm 범위의 입자 크기를 갖는 BaTiO3 세라믹에 대해 수행된 현장 고에너지 X선 회절 실험은 1μm 입자 크기 주변에서 발견되는 최대 유전율이 최대 도메인 벽 기여에 기인함을 시사합니다.

300 pC/N). The maximum d33 of SPS-nano BaTiO3 ceramics is close to the maximum d33 of the SPS-micro ceramics. However, the d33 coefficient of the SPS-nano ceramics, unlike that of the SPS-micro ceramics, increases with increasing grain size up to 9.6 μm. By comparing the piezoelectric constant of ceramics sintered by the two different methods, it can be inferred that there is a critical grain size of about 2 μm below which CS-micro BaTiO3 ceramics show a larger d33. The maximum d33 for both the BaTiO3 ceramics sintered by the CS and SPS show a remarkably large value of over 400 pC/N./p>